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小说《老美说硬件不是中国人擅长的,我直接点亮全套科技树》是作者“桃桃北哥”的精选作品之一,剧情围绕主人公林远威廉姆斯的经历展开,完结内容主要讲述的是:我告诉你,这条公式的推导方向从一开始就是错的,光源系统的热负载问题根本无解。十年前我在MIT带团队的时候就已经得出结论了——极紫外光刻机的光源系统,以你们的基础工业能力,五十年之内别想突破。”他转过头,居高临下地看着我:“林,我建议你换个方向。搞搞应用软件什么的,硬件这种事,不是你们这个民族擅长的...
第3章
下走。
一步步来。
急什么。
车在郊外一个灰扑扑的工业园区门口停下的时候,已经晚上十点了。陈建军亲自在门口等我,老头六十多岁了,花白头发乱糟糟的,一见面就拽着我往里走。
实验线所在的厂房不大,但设备齐全。真空腔、锡靶发生器、二氧化碳激光泵浦系统、多层膜反射镜组,一整套极紫外光源的核心组件沿着光学平台排开,各种线缆和冷却管像血管一样密布在设备之间。
陈建军的****已经把系统预热起来了,控制屏上跳动着实时数据,光源功率那一栏显示的数字是79.4瓦。
“说吧,从哪儿开始改?”陈建军**手,眼睛放光。
我走到控制台前,扫了一眼参数面板。
“二氧化碳激光的脉冲波形不对,把调制器的驱动信号从正弦波改成非对称三角波,上升沿压缩到1.2纳秒,下降沿拉长到4纳秒。”
“锡靶的预热温度从220度提到280度,液滴发生器频率从4万赫兹提到6万赫兹。”
“真空腔内的碎屑缓冲气流的成分换掉,氩气比例从百分之三十提到百分之六十,氢气的电离能太低,挡不住高能离子溅射。”
我一边说,陈建军的学生一边手忙脚乱地调参数。威廉姆斯那帮人十年前就卡在250瓦不是没有原因的,极紫外光源本质上是用高能激光轰击锡液滴产生等离子体,这个过程中百分之九十五以上的能量会转化为废热,废热积累到一定程度就会破坏真空环境,让光源功率急剧衰减。
他们一直在想办法加强冷却,思路没错,但方向错了。真正的问题不在于“怎么把热量带走”,而在于“怎么让热量根本不在光源核心区产生”。我那条等离子体折射耦合的路径,说白了就是用电磁场在锡等离子体周围构建一个折射层,让多余的光子在转化成热之前就被导走。
这才是治本的办法。
“参数调完了。”学生回头看我。
“点火。”
二氧化碳激光器发出一声低沉的嗡鸣,脉冲激光打在锡靶上,瞬间激发出耀眼的等离子体闪光。光谱仪上的极紫外波段读数开始跳动。
127瓦。
189瓦。
256瓦——突破了,那个卡了全球顶尖实验室十年的250瓦门槛,在点火后第11秒就被踩过去了。
陈建军死死盯着屏幕,拳头攥得指节发白。
数字还在跳。
312瓦。
408瓦。
然后控制屏上的数字在所有人屏住的呼吸里,稳稳停在了537瓦。
整个厂房安静
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